微納加工平臺
湖南艾科威微納加工暨國產裝備驗證平臺以艾科威自主研發制造的國產半導體工藝設備為依托，致力打造華中地區國產裝備示范平臺及特色服務模式的公共開放平臺。同時搭建和企業、高校聯合攻關，集“產、學、研”為一體的創新合作平臺。
平臺目前擁有300m2工藝實驗室面積，已配備了包括薄膜制備、材料刻蝕、膜厚檢測等常見的半導體工藝設備及測試儀器，提供相應的工藝研發和科研服務。
平臺可根據客戶需求和任務性質，提供單步或系列工藝代工，項目負責人可親自或委派代表經必要培訓后在平臺進行工藝流程監控或自行完成部分工藝。
平臺目前擁有300m2工藝實驗室面積，已配備了包括薄膜制備、材料刻蝕、膜厚檢測等常見的半導體工藝設備及測試儀器，提供相應的工藝研發和科研服務。
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湖南艾科威半導體裝備有限公司微納加工實驗室建有完善的千級潔凈室，擁有磁控濺射鍍膜設備（MSC）1臺，反應離子刻蝕設備（RIE）1臺，離子束刻蝕設備（IBE）1臺，臥式氧化爐1臺，臥式擴散爐1臺，立式擴散退火爐1臺。 工藝線可以滿足硅材料、化合物半導體等材料的芯片加工和表征測試需求。工藝線可以滿足微納加工教學和人才培養及微納加工技術服務需求。
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